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Models

P33.T1SW/B

P33.T1KW/B

P33.T2SW/B

P33.T2KW/B

P33.T3SW/B

P33.T3KW/B

P33.T4SW/B

P33.T4KW/B

P33.T5SW/B

P33.T5KW/B

P33.T6SW/B

P33.T6KW/B

P33.T8SW/B

P33.T8KW/B

Units

Active axis

θx、θy

θx、θy

θx、θy

θx、θy

θx、θy

θx、θy

θx、θy

Tilt angle（0~120V）

1（≈210"）

/±0.5(≈±110")

2.5（≈520"）

/±1.25(≈±260")

4（≈820"）

/±2(≈±410")

5（≈1030"）

/±2.5(≈±520")

6.8（≈1400"）

/±3.4(≈±700")

7.5（≈1550"）

/±3.75(≈±770")

10（≈2060"）

/±5(≈±1030")

mrad±20%

Tilt angle

（0~150V）

1.25（≈260"）

/±0.625（≈130"）

3（≈600"）

/±1.5(≈±300")

5（≈1000"）

/±2.5(≈±500")

6（≈1200"）

/±3(≈±600")

8.5（≈1700"）

/±4.25(≈±850")

9（≈1900"）

/±4.5(≈±950")

12.5（≈2500"）

/±6.25(≈±1250")

mrad±20%

Sensor type

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

Closed/open loop Resolution

0.1(≈0.02")

/0.05(≈0.01")

0.05(≈0.01")

0.02(＜0.01")

0.15(≈0.03")

0.05(≈0.01")

0.25(≈0.05")

0.1(≈0.02")

0.35(≈0.07")

0.12(≈0.02")

0.45(≈0.09")

0.15(≈0.03")

0.5(≈0.1")

0.2(≈0.04")

μrad

Linearity

-

0.1/-

0.15/-

0.2/-

0.25/-

0.25/-

0.25/-

%F.S.

Repeatability

-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

%F.S.

Unloaded resonant frequency

3.8

3.7

3.5

3.4

3.3

3.2

3.1

kHz±20%

Unloaded step time

-

1.5/1

2.5/1.5

3/2

5/2.5

6/3.5

8/4

ms±20%

Unloaded operating frequency

10% travel

1100

1000

800

500

400

300

150

Hz±20%

100% travel

90

80

60

40

30

25

15

Capacitance

1.8/axis

3.6/axis

5.2/axis

7.2/axis

9/axis

11/axis

14.5/axis

μF±20%

Material

Steel

Steel

Steel

Steel

Steel

Steel

Steel

Mass

150

190

220

240

265

290

340

g±5%

Platform Length L

28

37

46

55

64

73

91

mm