产品用途:
本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料的双面抛光。本机从设备的结构、精度、功能、可靠性、工艺性等方面进行优化设计,性能优良,完全能满足用户的使用要求。
主要特点:
1. 本机采用龙门式结构,外型美观大方,提高了整机刚度。
2. 整机的运行采用单电机拖动,通过减速机后由四组不同速比的齿轮给上抛光盘、下抛光盘、齿圈、中心轮提供不同的速度,使四种速度达到最佳的配比,满足工艺的要求,其中中心轮相对与其它三个转速的速比可调(两级),使游轮自转可实现正转、反转,满足了不同抛光(修盘)工艺的需求。
3. 本机为下抛光盘升降方式、下抛光盘的高低位置可在总行程范围内随意停留自锁,以满足改变游轮啮合高低位置的需要。
4. 本机继承其它抛光机压力控制的成功经验:采用四段压力,即轻压、中压、重压、修研(轻压)的运行过程。
5. 本机采用PLC、四行文本显示器,变频调速,电机速度由外设电位器手动随时调节;设备留有工件测厚装置接口。
6. 接液盆、护圈的设计采用半露式结构,保证了设备工作时不会漏砂,并且便于用户对设备进行清理。
7. 抛光速度的匹配,符合国际上通用的抛光机理,此速度匹配已被普遍认可。
主要技术参数:
1. 抛光盘尺寸: φ1155 mm× φ349 mm ×50 mm
2. 游轮参数: 英制: Z=200 DP12 α=20°
公制: Z=142 M=3 α=20°
3. 游轮数量: 5片
4. 最小抛光厚度: 0.50mm/φ125 mm,0.40mm/φ100 mm,0.35mm/φ75 mm
5. 最大抛光厚度: 30mm
6. 最大抛光直径: φ350 mm
7. 下抛光盘转速: 0~60rpm
8. 主电机: 15kW 380V 1460rpm
9. 三相电泵 1/4HP 380V
10. 外形尺寸(长×宽×高):2000mm×1550mm×2668mm
11. 质量:约6000kg
主机精度:
1. 下研盘端面跳动:0.08 mm
2. 上、下抛光盘平面度:0.030 mm(只检查下盘)
3. 太阳轮径向跳动:0.12 mm
4. 齿圈径向跳动:0.20 mm
加工能力:1.单片承片量: 17片/Φ75mm 8片/Φ100mm 5片/Φ125mm
2.整盘承片量: 85片/Φ75mm 40片/Φ100mm 25片/Φ125mm