首页 > 产品信息 > 工业设备 > 其他工业设备

产品用途：

    该机主要用于硅片、硬盘基片、光盘母盘、陶瓷片及其它硬脆材料的双面高精度研磨。

主要特点：

1.    采用伺服电机同步拖动，变速范围更广，运动精度高，响应速度快。

2.    采用触摸式平板电脑、嵌入式计算机控制，为用户提供开放式的图形操控界面；并设有四级密码保护（管理人员、维护人员、工艺人员、普通操作），方便了各层次人员的操作使用；具有接入以太网、远程调试、双机通讯等先进功能（可扩展）；可根据用户要求编制控制软件和操作界面。

3.    采用模块化设计理念：主传动在基本结构零件不变的前提下，可灵活的选配双电机、三电机、四电机；可灵活的选配普通异步电机、交流异步伺服电机（德国SEW）；副减速箱（太阳轮、齿圈）可灵活的选配国产或进口件。

4.    太阳轮与内齿圈大行程(80mm)同步抬升，满足了宽范围取放工件及调整游轮啮合位置的要求。

5.    压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制， 压力过程实现了线性转换，压力控制精度±2kg。

6.    工艺适应性：

²       拥有20套可编辑工艺,每套工艺可执行20步；

²       液泵（两路）、水泵状态在每步工艺中可编辑；

²       各电机运行速度及旋向在工艺中可单独编辑；

²       电机加速时间在每步工艺中可编辑；

²       目标压力在每步工艺中可编辑；

²       加压斜率在每步工艺中可编辑；

²       在每步工艺中可设置两个自定义外设状态；

7.    可安装可行走式地脚，方便了设备搬移（选配）。

主要技术参数：

1.          研磨盘尺寸： φ1118 mm×φ386 mm×60 mm（研磨标配，可自定）

2.         游轮参数：

公制：Z＝142  M＝3     α＝20°

英制：Z＝200  DP＝12   α＝20°

3.          游轮数量：         5片

4.          最大研磨直径：     φ350 mm

最小研磨厚度：     0.30mm

5.          下研磨盘转速:       0～60rpm

6.        上盘电机（选配）:7.5kW  4极  AC380V

7.          下盘电机:       15kW   4极  AC380V

8.          太阳轮电机：    1.5kW    4极  AC380V

9.          齿圈电机：      4kW      4极  AC380V

10.      气源：             0.5—0.6Mpa

11.      外形尺寸（长× 宽 × 高）：2324mm× 1524mm × 2995mm

12.      重量：             约8000Kg

主机精度：

1.下研磨盘端跳:                    0.04mm

2.上下研磨盘平面度：               0.015mm

3.太阳轮径向跳动：                 0.08mm

4.齿圈径向跳动：                   0.15mm

加工精度（四个修正轮修研后）：

1.一致性                           0.008mm

2.平面度                           0.004mm

3.平行度                           0.005mm

加工能力：

1.单片承片量：17片/φ75        8片/φ100     5片/φ125

2.整盘承片量：85片/φ75       40片/φ100     25片/φ125